锆靶材通常由纯度≥99.9% 的金属锆或锆合金制成，可根据需求掺杂其他元素（如钇、铪等）。其基础材质多为纯锆（R60702/R60704 等级）或锆合金（如 Zr-2.5Nb）。

原料提纯：采用电子束熔炼或碘化法获取高纯度锆（≥99.95%），确保低气体含量。

成型加工：通过热等静压（HIP）或热轧 / 锻造细化晶粒，优化密度和结构均匀性。

热处理：在真空或惰性气氛中进行退火，消除应力并调控晶粒尺寸。

机械加工：精密车削、磨削到所需尺寸，表面粗糙度通常控制在 Ra≤0.4μm。

绑定技术：采用钎焊或环氧树脂将锆靶与铜 / 铝背板结合，确保散热和导电性。