铌靶材的制备工艺主要包括以下步骤：
1、原料准备：使用纯度达99.95%以上的铌铸锭作为原料。
2、锻造：通过多次锻造来调整靶材的微观结构，变形量通常控制在40%-80%之间，温度范围为400-600℃。
3、酸洗：使用硫酸、氢氟酸和硝酸的混合酸液进行多次酸洗，每次处理2-5分钟，以去除表面杂质。
4、真空退火：在1000-1200℃、真空度≤0.2Pa的条件下进行多次退火，每次1-3小时，以消除内应力和提高材料纯度。
5、轧制与加工：通过错位轧制等工艺进一步细化晶粒，并进行机械加工以达到设计尺寸和表面光洁度。
