金靶的全面解析!


一、金靶的定义与基本概念

金靶是一种贵金属靶材,主要用于溅射镀膜工艺。在物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积等半导体制造过程中,金靶作为固态材料被用于沉积形成薄膜或涂层。金靶的化学稳定性好,能够抵抗大多数化学物质的腐蚀作用,这归功于金原子外层电子的稳定排布。

金靶是通过精炼、熔化锻造、压延加工或粉未冶金工艺制造的半导体器件、记录媒体显示器件等的配线和薄膜的贵金属及其合金的溅射靶材。在溅射过程中,高能离子束轰击金靶表面,使靶材表面的原子或分子获得足够能量而脱离靶材表面,沉积在基底上,形成均匀的薄膜。

二、金靶的主要应用领域

金靶在多个高科技领域有广泛应用:

1、电子半导体行业‌:用于制造晶圆、芯片和微电子传感器,是半导体器件中承担电气功能的关键材料。

2、光学器件制造‌:在发光二极管、军用和民用微波通信器件等领域有重要应用。

3、航空航天领域‌:用于制造航天、航空用半导体化合物及芯片太阳能电池等。

4、科研实验‌:作为高纯度科研实验耗材,用于各种薄膜制备和材料研究。

5、功能薄膜制造‌:在5G光电行业、功能薄膜等领域发挥重要作用。

三、总结

金靶作为高纯度贵金属靶材,在半导体制造、电子元件、光学器件和科研实验等领域具有不可替代的作用。随着高科技产业的快速发展,金靶的市场需求和技术要求都在不断提高。消费者在选择金靶产品时,应根据具体应用需求关注纯度、规格和供应商的专业性等因素。


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