锆靶和钛靶的区别!


锆靶钛靶作为溅射镀膜领域的重要靶材,在材料特性、应用场景及性能上存在显著差异:

1. 材料特性对比‌

①. 锆靶

熔点‌:1852℃;

密度‌:6.49 g/cm³;

耐腐蚀性‌:极强,尤其耐酸碱‌;

热中子吸收‌:低截面,核工业适用‌;

生物相容性‌:低过敏率,适合医卫植入‌。

②. 钛靶

熔点‌:1668℃;‌

密度‌:4.506 g/cm³‌;

耐腐蚀性‌:良好,依赖表面氧化膜‌;

热中子吸收‌:不适用‌;

生物相容性‌:高,但可能引发IV型过敏‌。

2. 核心应用领域‌

锆靶‌:

核工业‌:核反应堆包壳镀层、燃料元件‌;

光学器件‌:增透膜、高介电常数材料‌;

耐蚀涂层‌:化工设备防护‌。

钛靶‌:

半导体‌:阻挡层、电极材料‌;

装饰镀膜‌:PVD金色涂层、建筑玻璃‌;

医卫器械‌:人工关节、种植体‌。

3. 性能优劣对比‌

耐腐蚀性‌:锆靶在强酸/碱环境中表现更优‌,钛靶依赖氧化膜保护‌。

成本‌:钛靶原料更易获取,价格较低‌;锆靶因核级需求成本较高‌。

导热性‌:锆靶散热性能更佳,适合高功率器件‌。


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