锆靶与钛靶作为溅射镀膜领域的重要靶材,在材料特性、应用场景及性能上存在显著差异:
1. 材料特性对比
①. 锆靶
熔点:1852℃;
密度:6.49 g/cm³;
耐腐蚀性:极强,尤其耐酸碱;
热中子吸收:低截面,核工业适用;
生物相容性:低过敏率,适合医卫植入。
②. 钛靶
熔点:1668℃;
密度:4.506 g/cm³;
耐腐蚀性:良好,依赖表面氧化膜;
热中子吸收:不适用;
生物相容性:高,但可能引发IV型过敏。
2. 核心应用领域
锆靶:
核工业:核反应堆包壳镀层、燃料元件;
光学器件:增透膜、高介电常数材料;
耐蚀涂层:化工设备防护。
钛靶:
半导体:阻挡层、电极材料;
装饰镀膜:PVD金色涂层、建筑玻璃;
医卫器械:人工关节、种植体。
3. 性能优劣对比
耐腐蚀性:锆靶在强酸/碱环境中表现更优,钛靶依赖氧化膜保护。
成本:钛靶原料更易获取,价格较低;锆靶因核级需求成本较高。
导热性:锆靶散热性能更佳,适合高功率器件。