クロムスパッタリングターゲットの製造方法!


粒度が60目〜320目と粒度が320目〜500目の金属クロム粉を均一に混合し、乾燥予備、粒度が60目〜320目の金属クロム粉と粒度が320目〜500目の金属クロム粉の質量比は5:3、9:2、

混合した金属クロム粉を冷間プレス金型に加え、700 Mpa-100 Mpa圧力で冷間プレス成形し、1 s-120 sを保圧し、所望の寸法の中実円筒体のクロムターゲット素材にプレスする、

クロムターゲット素材の表面を被覆紙で被覆し、熱プレス金型内に入れ、炉に入れる、

真空引きしてO-15 pa、300°C-400°Cに昇温し、10 min-30 min保温し、引き続き600°C-800°Cに昇温し、加熱を停止し、熱圧施設を起動し、正熱圧施設の上下圧子、クロムターゲット素材8 Mpa-12 Mpa圧力下予熱圧60 s-90 s、熱圧施設を閉鎖し、1300°C-1600°Cまで昇温し続け、30 min-120 min保温する。熱圧施設を再起動し、20 Mpa-10 Mpa圧力で熱圧成形し、1 min-10 minの保圧を行い、100°Cまで冷却した後に出炉し、クロムターゲットを得た。

この製造方法は技術が簡単で、操作が便利で、環境に優しく、製品の歩留まりが高く、工業化生産を実現した。