ジルコニウムターゲットとチタンターゲットはスパッタリングめっき膜分野の重要なターゲットとして、材料特性、応用場面及び性能に顕著な差異がある：

1.材料特性の比較

①.ジルコニウムターゲット

融点鄒：1852℃、

密度鄒：6.49 g/cm³;

耐食性鄒：非常に強く、特に耐酸アルカリ鄒、

熱中性子吸収鄒：低断面、核工業に適用鄒、

生体適合性：低アレルギー率、医療衛生移植に適している。

②.チタンターゲット

融点鄒：1668℃、‌

密度鄒：4.506 g/cm³

耐食性鄒：良好、表面酸化膜に依存する鄒、

熱中性子吸収鄒：適用外鄒、

生体適合性：高いが、IV型アレルギーを引き起こす可能性がある。

2.コア応用分野

ジルコニウムターゲット：

原子力工業：原子炉ケーシングめっき、燃料部品、

光学デバイス：透過性膜、高誘電率材料、

耐食性コーティング：化学プラント防護。

チタンターゲット：

半導体鄒：バリア層、電極材料鄒、

装飾コーティング：PVD金色コーティング、建築ガラス、

医療衛生機器：人工関節、栽培体。

3.性能優劣比較

耐食性：ジルコニウムターゲットは強酸/アルカリ環境においてより優れており、チタンターゲットは酸化膜保護に依存している。

コスト：チタンターゲット原料は更に入手しやすく、価格は比較的に低い；ジルコニウムターゲットは核レベルの需要によりコストが高い。

熱伝導性：ジルコニウムターゲットの放熱性能はより良く、高出力デバイスに適している。