鄒タンタルターゲットは高純度タンタル金属またはタンタル合金から作られた材料であり、主に各種薄膜堆積技術に用いられる。タンタルターゲットはその優れた耐食性、高融点と生体適合性で知られ、電子、半導体、腐食防止コーティングと医療設備など多くのハイテク分野に広く応用されている。

物理的および化学的性質

タンタルターゲットの主な物理的性質は、

鄒融点鄒：3290 K（3017°C）

鄒沸点鄒：5731 K（5458°C）

鄒密度鄒：16.68 g/cm³

鄒硬度鄒：高硬度、延性と耐食性を持つ

鄒化学安定性鄒：タンタルは王水と反応せず、化学工業器材と医療器具の製造に適用する

製造方法

タンタルターゲットの製造方法は、通常、以下の工程を含む：

鄒1、粉末冶金鄒：ナトリウム熱還元法を用いてタンタル粉を生産し、粒径は2-3ミクロンである。

2、鄒冷などの静圧成形：タンタル粉をラテックス被覆中で冷などの静圧成形を行い、圧力は200 MPaより大きく、保圧時間は20 minより大きい。

鄒3、焼結鄒：真空度が1*10 ^-2 MPaより大きく、温度が2400°Cより大きい条件下で焼結を行い、保温時間が1.5 hより大きい。

鄒4、圧延と熱処理鄒：焼結したタンタルブランクを圧延と熱処理し、最終的にタンタルターゲット鄒を得る。

応用分野

タンタルターゲットの応用分野は非常に広く、主に：

鄒1、電子と半導体業界鄒：集積回路製造におけるバリア層材料、特に銅相互接続技術において、タンタルの高融点と低抵抗はそれを理想的な選択にするために用いられる。

鄒2、腐食防止コーティング鄒：タンタルの優れた耐食性のため、それは化学工業設備と極端な環境に暴露された金属表面をコーティングし、設備の使用寿命を延長するために用いられる。

鄒3、光学と光電子薄膜鄒：タンタルターゲットは特定の光学特性を持つ薄膜を製造するために使用でき、光学設備、ディスプレイとセンサーに広く使用されている。

鄒4、医療設備鄒：タンタルは良好な生体適合性を有し、医療インプラント、例えば骨板と関節仮体をコーティングし、人体拒絶反応を減少させるのに適する。